# 포스핀에 대한 작업환경측정·분석 기술지원규정

> **출처**: 한국산업안전보건공단 (KOSHA)
> **지침번호**: E-H-2-2025
> **원본 URL**: https://portal.kosha.or.kr/openapi/v1/file/down/FL00021380282/2
> **License**: 공공누리 출처표시 (변경금지)
> **추출 방식**: PDF → kordoc (라텔웍스 자체 도구, HTML 표 보존)
> **주의**: 이미지·일부 시각적 서식 손실 가능. 정확 원본은 위 URL.

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<tr><th colspan="4"></th></tr>
<tr><td rowspan="5"></td><td>KOSHA GUIDE</td><td colspan="2" rowspan="3"></td></tr>
<tr><td>E–H–2-2025</td></tr>
<tr><td colspan="3"></td></tr>
<tr><td colspan="2">포스핀에 대한<br>작업환경측정․분석 기술지원규정</td><td rowspan="2"></td></tr>
<tr><td colspan="3">2025.3.<br>한국산업안전보건공단</td></tr>
</table>

기술지원규정은 산업안전보건기준에 관한 규칙 등 산업안전보건법령의 요구사항을 이행하는데 참고하거나 사업장 안전·보건 수준향상에 필요한 기술적 권고 규정임

기술지원규정의 개요
○ 작성자 : 안전보건공단 산업안전보건연구원 직업환경연구실
○ 제·개정경과
- 2024년 11월 보건위생분야 전문위원회 심의(제정)
- 2025년 1월 표준제정위원회 본위원회 심의(제정)
○ 관련규격 및 자료
- National Institute for Occupational Safety and Health, NIOSH Manual of
th
Analytical methods (NMAM), 4 ed, www.cdc.gov/niosh/nmam
- Occupational Safety and Health Administration (U.S.A), Sampling and
Analytical method, www.osha.gov/dts/sltc/methods/index.html
- Health and Safety Executive (U.K.), Methods for the Determination of
Hazardous Substances (MDHS) guidance, www.hse.gov.uk/pubns/mdhs/
- American Conference of Governmental Industrial Hygienists(ACGIH):
Documentation of the Threshold Limit Values and Biological Exposure Indices,2024.
○ 관련법규․규칙․고시 등
- 산업안전보건법 제125조 (작업환경측정)
- 산업안전보건법 시행규칙 제186조 (작업환경측정 대상작업장 등)
- 고용노동부 고시 제2020-44호 (작업환경측정 및 정도관리 등에 관한 고시)
- 고용노동부 고시 제2020-48호 (화학물질 및 물리적인자의 노출기준)
○ 기술지원규정의 적용 및 문의
- 이 기술지원규정에 대한 의견 또는 문의는 한국산업안전보건공단 홈페이지(www.kosha.or.kr)
의 기술지원규정 소관 분야별 문의처 안내를 참고하시기 바랍니다.
- 동 규정 내에서 인용된 관련규격 및 자료, 법규 등에 관하여 최근 개정본이 있을 경우에는
해당 개정본의 내용을 참고하시기 바랍니다.
공표일자 : 2025년 3월 26일 제정자 : 한국산업안전보건공단 이사장

목 차
**1. 목 적 ······························································································································1**
**2. 적용범위 ························································································································1**
**3. 용어의 정의 ··················································································································1**
**4. 일반사항 ·························································································································· 2**
**5. 시료채취 및 분석 시 고려사항 ··················································································· 5**
**6. 포스핀 측정·분석방법 ··································································································· 8**

## 포스핀에 대한 작업환경측정․분석 기술지원규정 제안개요

Ⅰ. 제정이유

작업환경측정대상 유해인자 중 포스핀에 대한 측정 및 분석을 수행할 때 필요한 사항을

규정하여 측정·분석의 정확성과 정밀성을 유지하기 위함

Ⅱ. 제정(안)의 주요내용

1. 공기 중 시료채취 방법
2. 시료 전처리 및 분석 방법
3. 시료 분석 시 주의사항
Ⅲ. 관련 법규 및 규격

- - 산업안전보건법 제125조 (작업환경측정)
- - 산업안전보건법 시행규칙 제186조 (작업환경측정 대상작업장 등)
- - 고용노동부 고시 제2020-44호 (작업환경측정 및 정도관리 등에 관한 고시)
- - 고용노동부 고시 제2020-48호 (화학물질 및 물리적인자의 노출기준)
Ⅳ. 산업안전·보건표준제정위원회 심의개요

- ○ 보건위생분야 전문위원회 심의
- - 제안자 : 안전보건공단 산업안전보건연구원 직업환경연구실
- - 심의일 : 2024년 11월 18일
- - 심의위원 : 재적위원 23명중15명 참석
- - 주요 수정내용 : OSHA 1003에 기초하여 측정·분석방법 제정 등
- ○ 산업안전‧보건표준제정위원회 본위원회 심의
- - 제안자 : 안전보건공단 산업안전보건연구원 직업환경연구실
- - 심의일 : 2025년 1월 10일
- - 심의위원 : 재적위원 24명중20명 참석
- - 주요 수정내용 : OSHA 1003에 기초하여 측정·분석방법 제정 등

## 포스핀에 대한

## 작업환경측정․분석 기술지원규정

1. 목적
이 규정은 산업안전보건법 시행규칙 제186조(작업환경측정 대상 작업장 등)의 규정에

따른 작업환경측정 대상 유해인자 중 포스핀에 대한 측정 및 분석을 수행할 때 정확성

및 정밀성을 유지하기 위하여 필요한 제반 사항에 대하여 규정함을 목적으로 한다.

2. 적용범위
이 규정의 적용대상은 산업안전보건법 시행규칙에서 정한 허용기준 설정 대상 유해인자와

작업환경측정 대상 유해인자 중 포스핀의 측정, 분석 및 이와 관련된 사항에 한한다.

3. 용어의 정의
(1) 이 규정에서 사용하는 용어의 정의는 다음의 각 호와 같다.

(가) “밀폐”라 함은 취급 또는 보관 상태에서 고형(固形)의 이물(異物)이 들어가지 않

도록 한 상태를 말한다.

(나) “밀봉”이라 함은 취급 또는 보관 상태에서 기체 또는 미생물이 침입할 염려가 없는

상태를 말한다.

(다) 중량을 “정확하게 단다.”라 함은 지시된 수치의 중량을 그 자릿수까지 단다는 것을

의미한다.

(라) “약”이란 그 무게 또는 부피에 대하여 ± 10% 이상의 차가 있어서는 안 된다.

(마) 시험조작 중 “즉시”라는 용어는 30초 이내에 표시된 조작을 하는 것을 말한다.

(바) “검출한계”라 함은 주어진 분석절차에 따라 합리적인 확실성을 가지고 검출할 수

도를 말한다. 일반적으로 검출한계의 3배 수준을 의미한다.

(아) “회수율”이라 함은 채취한 분석대상물질의 분석 값을 보정하는데 필요한 것으로,

시료채취 매체와 동일한 재질의 매체에 첨가된 양과 분석량의 비로 표현된 것을

말한다.

(2) 그 밖에 이 규정에서 사용하는 용어의 정의는 이 기준에서 특별히 규정하는 경우를 제

외하고는 산업안전보건법, 같은 법 시행령, 시행규칙, 산업안전보건기준에 관한 규칙

및 작업환경측정 및 정도관리 등에 관한 고시(고용노동부 고시 제2020-44호)에서 정하

는 바에 따른다.

4. 일반사항
(1) 이 시험법에 필요한 어원, 분자식 및 화학명 등은 특별한 언급이 없는 한 (

) 내에

기재한다.

(2) 원자량은 국제순수 및 응용화학협회(IUPAC)에서 제정한 원자량 표에 따른다. 분자

량은 소수점 이하 제 2단위까지 하고 제 3단위에서 반올림한다.

(3) 이 시험법에 규정한 방법이 분석화학적으로 반드시 최고의 정밀도와 정확도를 갖는

다고는 할 수 없으며 이 시험방법 이외의 방법이라도 동등 이상의 정확도와 정밀도

가 있다고 인정될 때에는 그 방법을 사용할 수 있다.

(4) 이 시험방법에 표시한 사항 중 탈착효율, 검출한계 등은 각조의 조건으로 시험하였

을 때 얻을 수 있는 값을 참고하도록 표시한 것이므로 실제로는 그 값이 분석조건에

따라 달라질 수 있다.

(5) 시료의 시험, 바탕시험 및 표준액에 대한 일련의 동일시험을 행할 때 사용하는 시약

또는 시액은 동일 롯트(LOT)로 조제된 것을 사용한다.

(6) 이 시험법에 사용하는 유효숫자는 따로 규정이 없는 한 한국산업규격 KS Q 5002

(데이터의 통계적 해석방법)에 따른다.

(7) 이 시험법에 규정하지 않는 사항에 대해서는 일반적인 화학적 상식에 따르되 이 시험

법에 기재한 방법 중 세부조작은 시험의 본질에 영향을 미치지 않는 범위 내에서 시

(8) 단위 및 기호 : 길이, 넓이, 부피, 농도, 압력 또는 무게를 나타내는 단위 및 기호는

아래 표에 따른다. 여기에 표시되어 있지 않은 단위는 한국산업규격 KS A ISO

80000-1(양 및 단위-제1부: 일반사항)에 따른다.

| 종류 | 단위 | 기호 | 종류 | 단위 | 기호 |
| --- | --- | --- | --- | --- | --- |
| 길이 | 미터센티미터밀리미터마이크로미터나노미터 | m<br>㎝<br>㎜<br>㎛<br>㎚ | 농도 | 몰농도노르말농도<br>밀리그램/리터<br>마이크로그램/밀리리터퍼센트 | M<br>N<br>㎎/ℓ<br>㎍/㎖% |
| 압력 | 기압수은주밀리미터수주밀리미터 | atm<br>㎜Hg<br>㎜H2O | 부피 | 세제곱미터세제곱센티미터세제곱밀리미터 | ㎥<br>㎤<br>㎣ |
| 넓이 | 제곱미터제곱센티미터제곱밀리미터 | ㎡<br>㎠<br>㎟ | 무게 | 킬로그램그램밀리그램마이크로그램 | ㎏<br>g<br>㎎<br>㎍ |
| 용량 | 리터밀리리터마이크로리터 | ℓ<br>㎖<br>㎕ |  |  |  |

(9) 온도

(가) 온도의 표시는 셀시우스(Celsius) 법에 따라 아라비아숫자 오른쪽에 ℃를 붙인다.

절대온도는 K로 표시하고 절대온도 0 K는 –273℃로 한다.

(나) 상온은 15～25℃, 실온은 1～35℃, 미온은 30～40℃로 한다. 냉소는 따로 규정이

없는 한 15℃이하의 곳을 뜻한다.

(10) 농도

(가) 액체 단위부피중의 성분질량 또는 기체 단위부피중의 성분질량을 표시할 때에는

중량/부피(w/v)%의 기호를 사용한다. 액체 단위부피중의 성분용량, 기체 단위 부

용량비를 표시할 때는 ppm(part per million)의 기호를 사용한다.

비교 시는 작업환경 측정 시의 온도와 압력을 실측하여 정상상태의 농도로 환산하

여야 한다.

(11) 시약, 표준물질

(가) 분석에 사용되는 시약은 따로 규정이 없는 한 화학용 시약에 규정된 일급이상의

것을 사용하여야 한다. 분석에 사용하는 시약은 제조회사에서 표시하는 농도 함량을

따른다.

(나) 광도법, 전기화학적분석법, 크로마토그래피법, 고성능액체크로마토그래피법에 쓰

이는 시약은 특히 순도에 주의해야 하고, 분석에 영향을 미치는 불순물을 함유할

염려가 있을 때는 미리 검정하여야 한다.

(다) 분석에 사용하는 지시약은 특이한 것을 제외하고는 한국산업규격 KS M 0015(화학

분석용 지시약 조제방법)에 규정된 지시약을 사용한다.

(라) 시험에 사용하는 표준품은 원칙적으로 특급시약을 사용하며, 표준용액을 조제하기

위한 표준용 시약은 따로 규정이 없는 한 적절히 보관되어 오염 및 변질이 안 된

상태로 보존된 것을 사용한다.

(12) 측정․분석 방법에 사용하는 증류수는 따로 규정이 없는 한 정제증류수 또는 이온

교환수지로 정제한 탈염수(脫鹽水)를 말한다.

(13) 기구

(가) 계량기구중 측정값을 분석결과의 계산에 사용할 목적으로 사용되는 것은 모두 보

정하는 것을 원칙으로 한다.

(나) 중량분석 용 저울은 적어도 10-5 g(0.01 mg)까지 달수 있어야 하며, 화학분석용

저울은 적어도 10-4 g(0.1 mg)까지 달 수 있어야 하며, 국가검정을 필한 제품 또는

이에 준하는 검정을 필한 제품이어야 한다.

(다) 이 시험법에서 사용하는 모든 유리 기구는 한국산업규격 KS L 2302(이화학용 유

리기구의 모양 및 치수)에 적합한 것 또는 이와 동등이상의 규격에 적합한 것으로

국가에서 지정한 기관에서 검정을 필한 것을 사용하여야 한다.

(라) 여과용 기구 및 기기는 특별한 언급이 없이 “여과한다”라고 하는 것은 한국산업규

5. 시료채취 및 분석 시 고려사항
(1) 시료채취 기구 및 측정방법의 선택

시료채취의 목적과 시료채취시간, 방해인자, 예상되는 오염농도 및 실험실에서 보

유하고 있는 분석장비의 능력 등을 종합적으로 고려하여 최적의 시료채취기구 및

분석방법을 선택한다.

(2) 검량선 작성을 위한 표준용액제조

(가) 대상물질의 특성파악

분석하고자 하는 물질의 표준용액을 만들 원액(시약)의 순도와 특성(분자량, 비중,

노출기준)을 파악한다.

(나) 채취시료의 예상농도의 0.1∼2배 수준에서 각 분석대상물질의 양을 결정한다.

(다) 표준용액 제조방법의 결정

일반적으로 표준용액 제조시 표준원액(stock solution)을 단계적으로 희석시키는

방법(희석식)과 표준원액에서 일정량씩 줄여 가면서 만드는 방법(배치식)이 있다.

희석식은 만들기가 수월한 반면 표준원액이 잘못되면 계통오차를 줄 수 있고 배

치식은 여러 검량선 작성용 용액 중 몇 개가 잘못되더라도 이를 보정 할 수가 있

으나 만들기가 어려운 단점이 있다.

(라) 표준용액의 제조

충분한 수의 표준용액을 준비한다. 일반적으로 분석하고자 하는 농도를 포함한

최소한 5개 수준의 표준용액을 제조한다.

(마) 검량선의 작성 시 주의점

③ 검량선은 시료 분석조건과 주입방법에 따라 작성하고 검량선이 적정하다고 판정

하면 시료를 분석한다. 검량선은 분석할 시료의 농도를 포함해야 하며 외삽법은

피한다. 검량선의 적정성은 제시된 분석기기의 매뉴얼을 참조하거나 상관계수가

0.99이상의 것을 사용하도록 한다.

(3) 내부표준물질의 사용방법 및 보정방법

(가) 내부표준물질의 선정 시 다음의 특성을 가지는 물질로 선정한다.

① 머무름 시간이 분석대상물질과 너무 멀리 떨어져 있지 않아야 한다.

② 피크가 용매나 분석대상물질의 피크와 중첩되지 않아야 한다.

③ 내부표준물질의 양이 분석대상 물질의 양보다 너무 많거나 적지 않아야 한다.

④ 사용하는 분석기기의 검출기에서 반응이 양호해야 한다.

(나) 내부표준물질은 표준용액 등으로 사용하기 전에 추출용액에 일정량을 넣는다.

(다) 보정방법

① 검량선 작성 시 각 표준용액을 분석한 크로마토그램 면적을 내부표준물질의 크로

마토그램 면적으로 나눈 면적비로 회귀식을 구한다.

② 분석시료의 크로마토그램 면적을 내부표준물질의 크로마토그램 면적으로 나누어

면적비를 구한다.

③ ②에서 구한 면적비를 ①에서 구한 회귀식에 대입하여 농도를 구한다.

(4) 회수율 검정을 위한 시료제조 및 회수율 계산방법

화수율은 여과지를 이용하여 채취한 물질의 분석값을 보정하는데 필요한 것으로 채

취에 사용되지 않은 동일한 여과지에 첨가된 양과 분석량의 비로 표현된 값을 말한다.

이 실험을 통하여 여과지의 오염, 시약의 오염, 여과지에 대한 시료채취 효율 등을 알

를 모를 경우 첨가량은 노출기준과 공기채취량 240 L를 기준으로 계산한다. 계산

된 첨가량 3개 농도 수준(0.5∼2배)의 양을 반복적으로 3개(3수준 × 3반복 = 9개)

주입할 여과지와 공시료 3개를 준비한다.

(나) 분석대상물질의 원액 또는 희석액 일정량을 마이크로피펫 또는 마이크로시린지를

이용하여 여과지에 주입한다.

(다) 여과지를 밀봉하고 하루 동안 상온에 놓아둔다.

(라) 여과지를 바이알에 넣고 추출용액으로 추출한다.

(마) 시료를 분석하여 검출량을 구한다.

(바) 다음 식에 의해 회수율을 구한다.

회수율 = 분석량 / 첨가량

(사) 회수율은 최소한 0.75 이상이 되어야 하나 0.90 이상이면 좋다. 회수율에 대한 평

가는 분석자가 해야 한다. 즉 12개의 회수율 실험결과를 근거로 판단해야 할 사항은

회수율간의 일정성이다. 만일 회수율간의 차이가 크고 변이가 심하여 일정성이 없

으면 정확한 보정이 될 수가 없다. 따라서 그 원인을 찾아 교정하고 다시 실험을 실

시해야 한다.

# 포스핀(Phosphine)

| 화학식: | PH 3 | 분자량: | 34.0 | CAS No.: 7803-51-2 |
| --- | --- | --- | --- | --- |
| 녹는점: | -133.8℃ | 끓는점: | -87.7℃ | 비 중: 1.379 |
| | | - 전자산업에서 실리콘 반도체의 n-type 도펀트에 주로 사용되며, 갈륨- | | |
| | | 인듐-인화물 제조 시 소량 사용 | | |
| | | - 펠렛형태의 인화칼슘, 인화알루미늄, 인화마그네슘과 대기 중 반응하여 | | |
| 특징, 발생원 및 용도: | | 생성된 포스핀은 곡물저장고에서 훈증제로 사용 | | |
| | | - 중합개시제, 응축 촉매제, 포스포늄할라이드의 화학중간체 등으로 | | |
|||사용됨|||
| | 고용노동부(ppm) | 0.3, 1(STEL) | OSHA(ppm) | 0.3 |
|노출기준|||||
| | ACGIH(ppm) | 0.05, 0.15(C) | NIOSH(ppm) | 0.3, 1(STEL) |
| 동의어: | hydrogen phosphide, phosphorus trihydride | | | |
| 분석원리 | 및 적용성: 작업환경 | 중 분석대상 물질을 여과지에 채취하여 산으로 회화시킨 다음 | | |
| | 시료 용액을 조제하여 유도결합플라즈마 원자발광분석법으로 정량한다. | | | |

| 시료채취 개요 | 분석 개요 |
| --- | --- |
| § 시료채취매체: 유리섬유여과지+염화수은이<br>코팅된 폴리에스테르여과지<br>※ 유리섬유여과지는 인을 포함한 입자상 혹은<br>에어로졸을 제거하기 위한 용도임<br>§ 유량-TWA: 1 ℓ/min<br>-STEL: 2 ℓ/min<br>§ 공기량-TWA: 240 ℓ<br>-STEL: 30 ℓ<br>§ 운반: 일반적인 방법<br>§ 시료의 안정성: 상온에서 17일간 안정함<br>§ 공시료: 시료 세트 당 2∼10개 또는 시료수<br>의 10%이상 | § 분석기술: 유도결합플라즈마-원자발광분석법<br>§ 분석대상물질: 인(phosphorous, P)<br>§ 전처리: 황산 2 ㎖로 가열 후 과산화수소 첨가<br>§ 파장 : 178.221 ㎚<br>§ 검량선: P 표준용액 in 8% 황산<br>§ 범위: -<br>§ 검출한계 : 2.9 ㎍ phosphorus/sample<br>§ 정밀도: - |
| 방해작용 및 조치 | 정확도 및 정밀도 |
| § 습도 높을 경우 시료 포집 효율이 저하될 수<br>있다.<br>§ 구리나 철이 높은 농도로 존재할 경우<br>분석에 방해 작용을 할 수 있다. | § 연구범위(range studied): 1.0∼8.0 ㎍/㎖<br>§ 편향(bias): -<br>§ 총 정밀도(overall precision): ±10.8%<br>§ 정확도(accuracy): - |

<table>
<tr><th>시약</th><th>기구</th></tr>
<tr><td>§ 황산(sulfuric acid, 96.5%)<br>§ 과산화수소(hydrogen peroxide, 30%)<br>§ 질산(nitric acid)<br>§ 증류수(di-ionized water)<br>§ 검량선 표준용액: 인(phosphorus) 1,000㎍/㎖</td><td>§ 시료채취매체: 유리섬유여과지+염화수은이 코팅된<br>폴리에스테르여과지가 2단으로 장착된 37 ㎜<br>3단 카세트 홀더<br>※ 시료채취매체는 구매하거나 ‘Ⅴ. 비고’를<br>참조하여 제조할 수 있다.<br>§ 개인시료채취펌프(유연한 튜브관 연결됨),<br>유량 1∼2 ℓ/min 조절가능<br>§ 유도결합플라즈마-원자발광분석기(ICP-AES)<br>§ 용량플라스크<br>§ 비커, 시계접시<br>§ 가열판(hot plate)<br>※ 모든 유리기구는 사용 전에 질산으로 씻고<br>증류수로 헹구어 준다.</td></tr>
<tr><td colspan="2">§ 특별 안전보건 예방조치: 피부 혹은 호흡기에 접촉되지 않도록 주의한다. 모든 산 회화작업은<br>흄후드 내에서 이루어져야 한다(‘Ⅴ. 비고’ 참조).</td></tr>
</table>

I. 시료채취

1. 각 개인 시료채취펌프를 하나의 대표적인 시료채취매체로 보정한다.
2. 유리섬유여과지와 염화수은이 코팅된 폴리에스테르 여과지를 아래 그림 1과 같이 3단 카세트의
중간 링 앞·뒤에 장착한다.

- ※ 유리섬유여과지는 인이 포함된 입자와 에어로졸을 제거하기 위해 장착한다.
그림 1. 포스핀 채취를 위한 시료채취매체

3. 카세트의 양쪽 마개를 열고 유연성 튜브를 사용하여 시료채취 펌프에 연결한다.
4. TWA 시료의 경우 기준 1 ㎖/min의 유량으로 240분 동안 약 240 ℓ의 시료를 채취하고,
STEL 시료는 2 ㎖/min의 유량으로 15분 동안 약 30 ℓ의 시료를 채취한다.

6. 채취된 시료는 가능한 빨리 분석실로 전달한다.
II. 시료 전처리

7. 전처리에 사용할 비커를 질산을 사용해 세척하고 증류수로 헹궈준다.
8. 핀셋을 사용해 염화수은이 코팅된 여과지를 각 비커에 옮긴다. 유리섬유여과지는 버린다.
9. 황산 2 ㎖를 첨가한다.
10. 가열판에서 10분정도 가열한다. 이 때 용액은 짙은 갈색에서 연한 갈색으로 변한다.
11. 시료 용액이 투명해질 정도로 30% 과산화수소를 소량 첨가한다.
12. 용액을 가열판에서 내려 식힌 후 25 ㎖ 용량플라스크에 옮기고 증류수로 표시선까지 맞춘다.
III. 분석

【검량선 작성 및 정도관리】

13. 시료농도가 포함될 수 있는 적절한 범위에서 최소한 5개의 표준물질로 검량선을 작성한다.
a. 인(phosphorus) 10㎍/㎖(10 ppm P) 농도를 제조하기 위한 방법은 다음과 같다.

b. 100 ㎖ 용량플라스크에 1,000 ㎍/㎖ 농도의 검량선 표준용액 1 ㎖를 넣는다. 그리고 증류수

50 ㎖를 넣은 후 황산 8 ㎖를 첨가하고 용액을 조금 식힌 후 증류수로 표시선까지 맞춘다.

c. 공시료는 100 ㎖ 플라스크에 증류수 50 ㎖를 넣은 후 황산 8 ㎖를 첨가하고 용액을 조금

식힌 후 증류수로 표시선까지 맞춘다.

14. 한번 작성한 검량선에 따라 보통 10개의 시료를 분석한 다음, 표준용액으로 분석기기 반응에
대한 재현성을 점검한다. 재현성이 나쁘면 검량선을 다시 작성하고 시료를 분석한다.

【분석과정】

15. 분석기기 제조회사가 권고하는 대로 기기를 작동시키고 조건을 설정한다.
- ※ 분석기기, 파장 등에 따라 적정한 분석조건을 설정하며, 아래의 조건은 참고사항임.
16. 분석 파장은 178.221 ㎚, 177.433 ㎚, 213.616 ㎚, 214.918 ㎚를 사용할 수 있으며, 구리나 철이
높은 농도로 존재할 경우 213.616 ㎚와 214.918 ㎚에서 간섭을 줄 수 있다.

17. 시료의 흡광도 값이 검량선 그래프 직석보다 위에 있다면 시료를 희석하여 재분석한다.
Ⅳ. 계산

18. 다음 식에 의하여 분석물질의 최종농도(절대농도(㎎/㎥))를 구한다.
××



 × 

CM

: 분석물질의 절대농도(㎎/㎥)

Cp

: 시료 중 인의 농도(㎍/㎖)

Vd

: 최종 시료 부피(㎖)

V

: 공기채취량(ℓ)

34.00

: 포스핀(phosphine)의 분자량(g/㏖)

30.97

: 인(phosphorus)의 원자량(g/㏖)

19. 분석물질의 상대농도(ppm)는 18의 절대농도 값을 사용해 다음 식에 대입하여 구한다.
  



# 

CV : 분석물질의 상대농도(ppm)
24.45 : 25℃에서 몰부피(ℓ/㏖)
CM : 분석물질의 절대농도(㎎/㎥)
34.00 : 포스핀(phosphine)의 분자량(g/㏖)
Ⅴ. 비고
§ 이 방법은 OSHA method 1003에 기초하였다.
§ 다른 방법은 NIOSH method 6002 등이 있다.
§ 건강영향 및 예방조치: 모든 시약류의 피부 접촉이나 흡입을 피해야 하며, 실험실에서는 반드시 보호 장비를 착용하여야 한다.
§ 염화수은이 코팅된 폴리에스테르 여과지 제조방법
a. 37 ㎜ 여과지를 다음 순서로 세척(초음파처리)한 후 건조한다.
* 메탄올 2회 → 10% 질산 3회 → 증류수 2회 → 메탄올 2회
b. 95:5(v/v) 메탄올(methanol)/글리세롤(glycerol) 40 ㎖에 염화수은(mercuric chloride) 4 g과 메틸오렌지(methyl 만든다. * 염화수은은 독성이 있으며 상온에서 약간 휘발된다.	orange)	소량을 첨가하여	염화수은용액(mercuric	chloride	solution)을
c. 세척된 여과지를 깨끗한 유리판 위에 두고 염화수은용액 0.95 ㎖를 피펫으로 분취하여 여과지에 도포한다. d. 후드 안에서 30분간 건조시킨다. e. 제조된 여과지는 밀봉시켜 냉장 보관한다. 여과지는 3개월간 사용할 수 있다. Ⅵ. 참고문헌 1. 고용노동부 고시 제2020-48호, 화학물질 및 물리적인자의 노출기준, 2020. 2. 고용노동부 고시 제2020-44호, 작업환경측정 및 정도관리 등에 관한 고시, 2020. 3. American the Threshold Limit Values and Biological Exposure Indices, 2024. 4. National Analytical Methods, Method 6002. 5. National chemical hazards and other databases. 6. Occupational Safety and Health Administration(OSHA): Sampling and Analytical Methods 1003.	Conference Institute Institute	of for Occupational for Occupational	Governmental Industrial Safety Safety and	Hygienists(ACGIH): and Health(NIOSH): Health (NIOSH): NIOSH	Documentation NIOSH pocket	Manual guide	of of to

기술지원규정 제·개정 이력
□ 제정일 : 2025. 2. 3.
○ 제정자 : 안전보건공단 산업안전보건연구원 직업환경연구실
○ 제정사유 : KOSHA GUIDE 미제정 물질
○ 주요 제정내용
- OSHA 1003에 기초하여 측정·분석방법 제정
□ 재공표 : 2025. 3. 26.
○ 기술지원규정 영문 명칭 복원(KSH-GUIDANCE→KOSHA GUIDE)으로 재공표
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